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高纯金属有机化合物
2017-4-27
来源:未知
点击数:  659        作者:未知
  • 高纯金属有机化合物
       高纯金属有机化合物即MO源是先进的金属有机化学气相沉积(简称MOCVD)、金属有机分子束外延(简称MOMBE)等技术生长化合物半导体材料的支撑材料。化合物半导体材料是21世纪信息技术-光电子技术的基础。MO源的研制是集极端条件下的制备、超纯纯化、超纯分析、超纯灌装等于一体的现代高新技术。

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